大学石墨烯制备炉PECVD厂家现货

大学石墨烯制备炉PECVD产物简介：此款装备配有Plasma完成等离子加强，滑轨式设计在操纵时可将试验需要的恒定低温间接推到样品处，使样品能获得一个疾速的升温速率，异样也可将低温的管式炉间接推离样品处，使样品间接裸露在室温情况下，获得疾速的降温速率。并可选配氛围微调装配，可的节制反响腔体外部的气体压力，带刻度的调理阀对付做高压CVD异常简略适用，工艺反复性好，对付石墨烯发展工艺异常适合，也异样适用于请求疾速升降温的CVD试验。 

大学石墨烯制备炉PECVD重要功效和特色： 

1、应用辉光放电发生等离子体电子启动气相； 

2、进步了气相反响的堆积速率、成膜品质； 

3、可通过调剂射频电源频率来节制堆积速率； 

4、能普遍用于：石墨烯、SiOx、SiNx、CNx、TiCxNy等薄膜的发展。 

大学石墨烯制备炉PECVD

开启式真空管式炉技巧参数 

石英管尺寸 L1400mm  Φ（60、80、100） 

加热元件 掺钼铁铬铝合金电阻丝 

测温元件 K型热电偶 

加热区长度 410mm   

恒温区长度 200mm 

事情温度 ≤1100℃ 

控温形式 隐约PID节制和自整定调理，智能化30段可编程节制，具备超平和断偶报警功效 

控温精度 ±1℃ 

升温速率 ≤20℃/min 

电功率 AC220V/50HZ/3KW 

品质供气体系技巧参数 

形状尺寸 600x600x600mm 

尺度量程 50sccm（CH4）、200sccm（H2）、500sccm（Ar、N2）；

数显压力表丈量规模 -0.1Mpa～0.15Mpa 

极限压力 3MPa 

针阀 316不锈钢 

截止阀 Φ6mm 316不锈钢针阀 

电功率 AC220V/50HZ/20W 

回应光阴 气特征：1～4 Sec，电特征：10 Sec 

度 ±1.5% 

线性 ±0.5～1.5% 

反复精度 ±0.2% 

界面 Φ6,1/4'' 

真空体系技巧参数 

造型尺寸 600×600×600mm 

事情电电压 220V±10%  50~60HZ 

功率 400W 

抽气速率 4Ls 

极限真空 4X10-2Pa 

试验真空度 1.0X10-1Pa 

容油量 1.1L 

进气口口径 KF25 

供電電壓 單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ

整機效率 >=70%

功率因素 >=90%

冷卻方式 強制風冷